高纯氦气杂质分析仪系统HES
HES型高纯氦气杂质分析仪（以下简称仪器）是一款用于保证高纯氦气生产工艺系统的安全运行专门设计的监控装置，可实现多组分同时检测，内置实时组分干扰校准功能，去除因杂质混合引起的交叉干扰。该仪器被设计为长时间自动在线运行，配置了自诊断、自动控制、自动校准、错误代码指示、报警记录等功能，在被测气体含杂率良好的情况下可以长时间（数月甚至数年）运行。
仪器自诊断和报警内容至少包括：检测源和探头的失效、各项检测项越线情况、没有足够的采样流量的能力、加热温度报警和主要仪器部件异常报警。
仪器具备自动在线监测高纯氦气中H20、N2、CXHY、Oil的功能，内置样气预处理系统，在不影响测量结果的同时能够最大限度的保障仪器气路系统的压力稳定及清洁程度。
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品名 |
高纯氦气在线杂质分析仪 |
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型号 |
HES |
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被测气体 |
高纯氦气 |
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被测气体含油种类 |
BreoxB35 |
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被测气体压力 |
10~16bara |
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回气压力 |
1.23bara |
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进排气口规格 |
1/4卡套（Swaglok） |
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进排气管路规格 |
1/4 |
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分析系统管路规格 |
1/8 |
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管路系统气密性 |
氦质谱检漏漏率＜1*10-7Pa.m3/s |
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管路材质 |
316L（卫生级 EP） |
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运行模式 |
自动在线运行 |
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被测气体含杂 |
除被测杂质外，样气含杂符合高纯氦气相关国家标准 |
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H2O测量范围 |
0~100vpm |
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N2测量范围 |
0~100vpm |
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CxHy测量范围 |
0~30vpm |
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Oil 测量范围 |
0~250ppb |
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测量精度 |
精度下限为±2（ppb/vpm），上限为最大量程的10% |
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分辨率 |
0.1vpm（气体杂质）/1ppb（油雾） |
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数据传输 |
DC 4路4~20mA 四线制模拟量信号输出 |
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人机交互 |
液晶面板显示，触摸屏操作 |
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设备使用环境 |
温度-10~50℃，湿度≤90%RH |
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供电 |
AC220V±10%，50Hz <600W |
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电气连接 |
M20*1.5格兰密封头进线（4个），端子排接线 |
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防护等级 |
IP54 |
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外观尺寸 |
600*800*1600mm（柜式） 柜体采用指定色号 底座带脚轮，脚轮带锁定功能 |
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重量 |
170kg |
主要功能
HES型高纯氦气杂质分析仪的主要功能如下：
- 检测高纯氦气中的H20、N2、CXHY、Oil含量；
- 多组分同时检测；
- 连续性在线自动监测功能；
- 抗交叉干扰；
- 自动校准；
- 自动诊断；
- 数据曲线显示；
- 错误报警；
- 报警提示、记录；
- 内置样气预处理系统；
- 检测数据4~20mA输出；
- 大尺寸彩色触摸屏操作；
- 中文人机界面
